產(chǎn)品參數(shù) 1、良率:≥99% 2、時(shí)間稼動(dòng)率:97% 3、節(jié)拍:≤25s(72pin) 4、機(jī)構(gòu)動(dòng)態(tài)精度:+/-0.02mm 5、檢測(cè)精度:≤5um 6、GRR重復(fù)性:<20% 7、相關(guān)性R2:>75%